déposition en phase gazeuse

déposition en phase gazeuse
dujinis nusodinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. gas deposition; gas plating vok. Gasphasenabscheidung, f rus. осаждение из газовой фазы, n pranc. déposition en phase gazeuse, f

Radioelektronikos terminų žodynas. – Vilnius : BĮ UAB „Litimo“. . 2000.

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